廣東省科學院半導體研究所是廣東省科學院下屬骨干研究院所之一，其前身是2010年10月在時任廣東省委書記汪洋的關懷下成立的廣東半導體照明產業技術研究院。2015年6月經省委、省政府批準，由原廣東省科學院、廣東省工業技術研究院（廣州有色金屬研究院）、廣東省測試分析研究所（中國廣州分析測試中心）、廣東省石油化工研究院等研究院所整合重組新廣東省科學院，2016年4月成為獨立法人單位廣東省半導體產業技術研究院，2020年8月正式更名為廣東省科學院半導體研究所。

       主要聚焦半導體產業發展的應用技術研究，兼顧重大技術應用的基礎研究，立足于廣東省經濟社會發展的實際需要，從事電子信息、半導體領域應用基礎性、關鍵共性技術研究，以及行業應用技術開發。在第三代氮化物半導體領域具備貫穿全產業鏈的研發與中試支撐能力，在集成電路領域具備設計、封裝、評測等多點支撐能力。

       擁有近5000平方米的研發基地，其中超凈實驗室超1000平方米，擁有MOCVD等100多臺/套關鍵設備，設備總價值過億元。目前已建立材料外延、微納加工、封裝應用、分析測試四大科研平臺，硬件條件達到國際先進水平，是國內第三代寬禁帶半導體材料研究的重要基地，也是國內少數擁有完整半導體工藝鏈的研究平臺之一，并且具備2-6英寸第三代半導體產業技術的中試能力。

      以全球視野，國際化、高標準地匯聚了一支高水平人才隊伍，包括來自美國、日本、歐洲頂尖企業和研究機構的高層次人才、國家級領軍人才、廣東省創新團隊、廣東省特支計劃人才等，具有雄厚的研發實力。       

      是中國有色金屬學會寬禁帶半導體專業委員會的依托單位。該專委會是中國首個第三代半導體領域的專業委員會，22位院士出任專委會顧問，專委會委員基本覆蓋了國內第三代半導體領域著名的高校、科研院所和企業的知名專家，具有廣泛的代表性、權威性。